近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備上海）股份有限公司以下簡(jiǎn)稱“中微公司”，股票代碼“688012.SH”）宣布通過不斷提升反應(yīng)臺(tái)之間氣體控制的精度，ICP雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕機(jī)Primo Twin-Star?又取得新的突破
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