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突破邊界:先進(jìn)封裝時(shí)代下光學(xué)檢測(cè)技術(shù)的創(chuàng)新演進(jìn)

文章來源:SMICONDUCTOR ENGINEERING隨著半導(dǎo)體器件向更精密的封裝方案持續(xù)演進(jìn),傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)正逐漸觸及物理與計(jì)算的雙重邊界。對(duì)2.5D/3D集成、混合鍵合及晶圓級(jí)工藝的依賴日益

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